英福康 fab UL1000, Inficon UL1000 Fab1000 維修
Inficon Fab UL1000 氦氣測漏儀,隨著使用時間月來愈久, 容易出現下述狀況
- Inficon Fab1000 測漏時間, 欲拉越長 , 測試口壓力顯示下降越來越慢, 或是氦氣測漏儀(Inficon UL1000) 未噴氦氣前的背景值氦備氣值,下降速度愈來愈慢, 可能原因 1. 真空幫浦有問題, 2. 真空計失準 3. 內部真空部件有漏 4. 質譜室有汙染
- Inficon Fab 1000,未測漏前背景氦氣值,忽高忽低, 可能原因如下1. Inficon UL1000 質譜室或是管路受汙染. 2. 測漏空間為密閉空間3.Fab1000 內部真空管件有漏