市售常見氦氣測漏儀種類
以下僅供參考,以各公司網路開放資料參考,以台灣常用品牌機型
| 微型 | 小型油式幫浦 |
中型油式幫浦
|
中大型油式幫浦 | 雙Turbo大乾式 |
小型乾式 |
中型乾式 | 中大型乾式 | 特製 | |
| 冰研 | n/A | n/a | AHA 250 | AHA 500 | AHA 500TD | n/a | AHA250D | AHA500D | AHA S |
| Agilent | PHD-4 | HLD PR02 | HLD MR15 | HLD MR30 | HLD Twin | HLD PD03 | HLD MR15 | HLD MD30 | ask 冰研 |
| Eldwards | N/A | ELD 500 Wet | ELD 500 Flex | ELD500 Flex | ELD500 Twin | ELD500 Dry | ELD 500 Flex | ELD 500 Flex | ask 冰研 |
| Inficon | N/A | UL1000 | UL5000 Fab | UL3000 Fab | ask | ||||
| Pfeiffer(A) | N/A | ASM310 | 182TD | 182TD+ | ask | ||||
| Pfeiffer | N/A | ASM 340 | ASM340I | ASM 390 | ASM392 | ASM 340D | ASM340I | ASM390 | ask |
| ULVAC | N/A | 901W1 | 904W2 | 901D2 | 904D3 | 904D4 | ask |
測漏儀選購 必須先區分測漏方法 1. Sniffer 2. Outside in 3. Inside out 再決定油式 乾式 再決定幫浦大小多寡 再決定廠牌 並酌以參考後續維護成本耗材 及軟體的方便性(例如測漏數據的紀錄追蹤)
另外 測漏儀速度快慢 有幾個因素 1. 幫浦大小 2. 管路大小 3. 閥門大小 4. 幫浦數目 5. 背景氦氣排除 ( 而5 其實 包含 1-4 項 跟其他因素)
請與我司聯絡
業務 : 陳智明 0932-578559
Mail: tedchen25@yahoo.com.tw , ted.chen@hivac.com.tw