冰研應用股份有限公司Advanced HiVac Application Co., LTD
  

冰研自動控制真空系統模組



https://www.youtube.com/watch?v=mlo7PjtU4Ng&feature=youtu.be

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真空系統的設計含真空幫浦的選擇及真空計的選擇&腔體設計及 控制與操作及軟體撰寫 (pdf)

 

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