兩顆分子渦輪幫浦高性能測漏儀
兩顆分子渦輪幫浦高性能測漏儀
AHA LD500 TⅡ 測漏儀
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主要規格 ( 紅色字體表示為全世界最高等級或唯一)
1.最低感度: 5x10E(-11) Torr Liter/Sec
2.Maximum Test Port Pressure: 5 Tor ( 另有選購加價20 Torr, 100 Torr , 200Torr 選擇)
3.測試口Net Helium Pumping Speed >28 liter/Sec (雙渦輪幫浦,氣動閘閥)
4.測試口終極壓力: 5x10E-6 Torr
5.操作語言: 繁體中文/簡體中文/英文 (其他語言為選配)
6.Test Port Flange: KF50, KF40,KF25
7.Primary pump pumping speed: 500 Liter/Min +77 li ter/sec( D500T), 290Liter/min +77 liter/sec(D290T), 410Liter/Min+77liter/sec(R410T)
8.外殼為鋁擠型支架, 烤漆金屬面板(如需高承重測漏，可選配黑鐵烤漆支架)
內部組成結構:
1.採用世界領導品牌的標準真空元件，耐用且便宜(非特製件無需昂貴維修或更換費用)
2.Agilent Spectrometer Tube & PCB , 標準品(全世界分析儀器第一品牌)
3.Agilent V-81M高真空渦輪分子幫浦 (一顆負責維持質譜管高真空，另一顆作為抽氣專用)
4.Agilent Dry Scroll Pump or Agilent DS402 Rotary Vane Pump
5.低真空計( Granville Phillips 275 Module, 採用全世界最可靠的低真空計,標準品(非特製品),可量測 760Torr~1.0E(-4) Torr, ( 也可以選配 Granville 356 或是Agilent702 全領域真空計, 760~1.0E(-9) Torr), 穩定, 可靠, 耐用, 耐汙染 不易失真.
6.PLC控制器外加工業觸控螢幕微處理器(繁/簡體中文/英文顯示)
7.VAT Gate Valve & Agilent或是VAT 氣動直角閥
8.本公司開發的測試軟體, 可以記錄漏率、時間、測試人員、工件序號以追蹤測試過程 ( PC BASE),Auto Test Function可以減少人員測試時間及錯誤操作
本產品優點
1.測漏快速
a. 使用氣動角閥或閘閥，而非電磁閥，氣導比傳統測漏儀大2０倍以上( 35 liter/sec , KF-40 ,250Liter/sec KF-50 Gate VALVE), 捕捉的氦氣量也10倍於傳統標準型測漏儀(如 Inficon 1000, MODUL300, VSMD30)
b. 使用專責分子渦輪幫浦，抽氣速度大且排除氦氣背景訊號快速
c. 50 Liter chamber 1.5 分鐘背景值可從1atm到達1.0E-9 atmcc/sec 以下
d. 1.5 分鐘 從一大氣壓到可以測 1.0E-9 atmcc/sec ( 7 米 KF-25 bellow)
e. 1.5分鐘 從一大氣壓到可以測 1.0E-9 atmcc/sec ( 7 米 1分管)
f. 排除氦氣迅速
g. Test port pressure < 1.0E-6 Torr with Fast Mode
h. 28 liter/sec for Helium pumping speed
2.真空系統構造簡單,我們使用最好的真空計及閥門，維持高妥善率，雖體積設計稍大，但是容易維修保養且維修便宜
3.可靠，耐用
4.公司開發許多周邊零件及軟體以方便用戶使用(有 閥門業者專用機，LED產業MOCVD專用機，半導體PVD專用機，電廠業專業機，半導體植入機專用機，以及專為高耐腐蝕、高活性氣體、高黏滯氣體、高粉塵環境所設計使用, 管路業者專用機......等)
5.唯一繁體中文的測漏儀
6.另有電廠測漏專用機(高水蒸氣環境)
7.測漏單位 Torr liter/sec, mbar liter/sec, atm cc/sec, Pa M3/hour, PPM,OZ/Year.....
產品規格:
電壓: 單相110/220 VAC
長 : 寬 : 高(cm) = 92 : 50 : 82 (長度不含把手, 把手長度可訂製)
Weight: 視真空元件差異 重量會有不同 ( 60kg~100kg)
- 觸控螢幕:
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- LED MOCVD , Etching , CVD 高腐蝕 高粉塵 高水氣
- 自我清潔行程 可以大幅度降低真空元件損耗
- TURBO控制
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(20分鐘)低測試口壓力
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PC Base 測試記錄
